摘要:利用多光束光学应力传感器(MOSS)求薄膜曲率需要测量出光束在反射前后的间距,根据相邻入射(折射)光束间距即 可计算出薄膜的曲率半径。 光束的间距可由接收到的光斑中心点确定。 提取光斑的中心点主要利用 Canny 边缘检测算法和椭 圆拟合算法。 用 CMOS 传感器得到的光斑阵列图像,在光斑周围参杂有很大的椒盐噪声,对于传统的 Canny 算法,无法准确的 检测出光斑的边缘。 利用一种改进的 Canny 边缘检测算法,可有效的消除光斑周围的噪声,并较好的保留光斑边缘。 最后利用 椭圆拟合算法对边缘进行拟合,求得光斑阵列的所有中心点。 实验最后选用标准件进行验证,用测得的间距算出曲率半径与实 际进行对比,误差结果在 2% ~ 4%,证明该方法可行。