摘要:声表面波(SAW)微力传感器易于集成和小型化,无源无线的工作方式,具有极大的应用潜力。 将其应用于物体间微间 隙压力检测有望实现高灵敏、低功耗的监测水平。 针对复杂环境中存在的测量灵敏度问题,设计了一种具有折线形状的叉指换 能器(IDT)的 SAW 微力传感器。 采用有限元分析方法(FEM)对其进行了仿真分析和结构参数设计。 理论分析与实验表明,设 计的传感器质量灵敏度可达 284. 16 kg / m 2 ,高于直线形 IDT 的 SAW 传感器 185. 97 kg / m 2 ,验证了此结构能够有效提高器件的 质量灵敏度,及在微间隙环境下压力监测的可行性。